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アルゴン放電洗浄法；アルゴン・スパッタリング
日本語（ひらがな）
あるごんほうでんせんじょうほう；あるごん・すぱったりんぐ
日本語（ヘボン式ローマ字）
arugon-hōden-senjōhō; arugon-supattaringu
English
argon gas discharge cleaning; argon sputtering
カテゴリ
化学
，
測定技術
，
真空
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